采(cǎi)用高分辨(biàn)率(lǜ)成像(xiàng)的(de)明暗场(chǎng)晶圆表面检测,基(jī)于图(tú)像算法、检测模型和良(liáng)品(pǐn)异(yì)常检测三种模式,检出晶圆表面缺陷,并提供数据(jù)统计分析
2D检测精(jīng)确度
um
1
UPH
pcs/h
60
漏检率(lǜ)
ppm
≤50
先(xiān)进算法储备
AI大(dà)模型与小(xiǎo)模型融合(hé),支持基于良品和不良品的模(mó)型训练方(fāng)式,支持(chí)基于(yú)大(dà)模(mó)型的智慧标注和样(yàng)本生成(chéng),解决样(yàng)本不均衡场景下的快速上线,支持增量学习模式,控制样(yàng)本集(jí)规模,提高模型迭代(dài)速度,支持并行、并发的处理模式(shì)
数据统计和(hé)分析功能
用于检测和(hé)生(shēng)产过程中的数据统计,提供多种看板(bǎn)模版;针(zhēn)对指定缺陷种类或者指定时(shí)间段,提供多种良率(lǜ)统(tǒng)计方(fāng)式(shì);提供多种(zhǒng)数据保存接口,生产过(guò)程可追溯(sù);针对工(gōng)业场景特点,支持灵活自由配置显示单(dān)元、统计指(zhǐ)标、结果查询、导出、上传逻(luó)辑;集成统(tǒng)一(yī)、可(kě)视化(huà)的多机位硬件接口调试工具,使调(diào)试(shì)过程更加(jiā)便捷
算法特色
在复(fù)杂背景(jǐng)影像中。我们依(yī)然可以将污染(rǎn)正确(què)检出;可以将特定特征(zhēng)瑕疵(cī)给(gěi)予消除; 自动产生针痕屏蔽。消除针痕位(wèi)置,抓取(qǔ)针痕(hén)外的瑕疵